■展会名称：

NEPCON ASIA 2024 亚洲电子生产设备暨微电子工业展览会（以下简称“亚洲电子展”）

■展会日期

2024年11月6 - 8日

■展馆地点

中国·深圳国际会展中心(宝安)

■展位号

11号馆-11A24

11月6日至8日，亚洲电子展将在中国·深圳国际会展中心（新馆）举办。

当前，半导体市场正经历空前增长，尤其是在3C消费电子、物联网（IoT）、人工智能（AI）、汽车电子、5G通信、云计算等关键技术领域。这使得电子半导体制造业面临着复杂多样的挑战和机遇，对产品品质和生产效率的标准提升到了新的高度。

正运动凭借多年来在电子半导体领域的深耕，与客户紧密合作，推出了一系列优化生产工艺流程的运动控制解决方案，方案直接从工艺制造源头优化入手，减少生产缺陷，提高加工品质和效率，助力客户实现稳定量产和资源优化配置，同时有效降低成本。

在此次展会上，正运动将展出一系列高性能运动控制产品，包括VPLC7系列机器视觉运动控制一体机、超高速PCIe EtherCAT实时运动控制卡和开放式激光振镜运动控制器等，及其在实际应用场景中的应用案例。

诚邀各位莅临正运动11A24展位，共同探讨电子半导体制造领域的解决方案，助力电子半导体设备加速国产替代导入。

看点一：电子半导体设备运动控制解决方案

1.晶圆激光划片机运动控制解决方案

(1)客户诉求

l加工质量不足，传统刀轮划片因残余应力和机械损伤，导致晶圆芯片在切割过程中出现表面和背面崩裂、裂纹等缺陷，降低成品率。

l耗材成本高，不同材料需频繁更换刀轮，耗材成本高且增加了停机时间。

l生产效率低，刀轮切割速度有限，无法满足大批量生产和紧迫的交期要求。

(2)正运动解决方案

采用正运动技术的ZMC408SCAN-V22开放式激光振镜控制器，实现非接触式激光加工。通过高速振镜改变激光束方向，达到高速高精度的晶圆激光划片，适用于刀片难以处理的材料。具有材料损耗小，加工效率高，加工成本低等特点。

(3)工艺说明

通过调整紫外激光的能量和脉冲持续时间，来适应不同加工材料，并通过振镜轴与伺服轴联动插补，来完成更精细烧蚀切割加工，避免了机械应力和物理损伤，将整片晶圆进行分割。

(4)方案亮点

l灵活兼容多种半导体材料，用户可通过编辑晶圆激光切割工艺。

l提供专用激光工艺API函数，支持多种图形处理，提升加工精度与效率，简化设计至生产流程。

l高精度PSO，等间距输出，提高切割质量，减少次品率。

l提供直观易用的激光调试软件，操作员轻松设定打标激光参数，加快生产速度，缩短交期。

2.晶圆搬运机械手运动控制解决方案

(1)客户诉求

随着晶圆产量和尺寸的不断增大，以及制造工艺线宽的持续缩小，晶圆制造设备厂商面临着严峻的挑战。

因此，如何在提高晶圆传输的工作效率的同时，并提升定位精度和平稳控制，来确保晶圆的平稳、无损搬运，已成为各大晶圆制造设备厂商的首要任务。

(2)正运动解决方案

采用正运动技术的VPLC7系列机器视觉运动控制一体机，配合运动控制实时内核MotionRT7与视觉采集系统等多个组件的协同作业，实现核间交互，指令调用速度比传统的PCI/PCIe快10倍，整体设备产能可提升10%左右,实现高速高精的晶圆搬运机械手控制。

(3)工艺说明

在晶圆搬运过程中，机械手需完成从料盒到设备工位的晶圆传输。通过实时监控机械手的轨迹、位置和姿态，结合机器视觉的精准定位，精准控制其速度和加速度，优化操作顺序和动作时间，以确保机械手以更高加速度稳定传输，防止晶片滑动，降低对晶圆的机械应力冲击，减少晶圆破损风险，提升生产效率和良率。

(4)方案亮点

l支持平面关节型机械手（SCARA）和径向直线运动（R.θ）型机械手，适用于各种晶圆机械手传输场景。

l支持动态变速，平衡机械手的移动速度和精度，减少晶圆损伤和次品率。

lMotionRT7实时内核提升指令调用速度，响应更快，缩短搬运周期，提高生产效率。

l软硬件集成度高，集成机械手控制、机器视觉、工控机和I/O控制，简化架构，降低延迟和误差，减少维护和故障率，降低运营成本，可替代传统的机器人电柜箱、工控机、PLC等。

l技术门槛低，拖拽式中文组态视觉，工程师简单培训即可上手。

3.高速固晶机运动控制解决方案

（1）客户诉求

l如何同时满足高速高精生产。

l如何让取晶和固晶动作更流畅、柔和，实现快速精准的操作。

l固晶机的操作流程复杂，需要多轴同步控制功能。

（2）正运动解决方案

采用正运动技术的高速高精，超高速PCIe EtherCAT实时运动控制卡XPCIE1032H，配合执行机构、高精度视觉采集硬件等核心组件的同步协作，能够实现高速高精的控制，并进行高效的数据交互，有效优化行业传统产线复杂工艺，提升固晶效率和品质。

（3）工艺说明

将芯片从已切割好的晶圆上抓取下来，并吸取移动到固定在基板对应的指定区域上，利用银胶把芯片和基板粘接起来。通过采用正运动技术高速IO应用和高精度运动控制控制功能，固精机高速高精地取晶、搬运、粘接、压合、定位、连续固精等关键步骤。

（4）方案亮点

lEtherCAT同步周期最小可达125us，实现多轴高速高精运动控制。

l力矩控制功能，控制吸放芯片的下压力度，防止芯片压坏变形。

l可通过EtherCAT进行灵活扩展，实现多轴同步协调运动，提升生产效率。

l运动控制实时内核MotionRT7，实现核间交互，指令调用速度比传统的PCI/PCIe快10倍，提高指令执行效率，整体设备产能可提升8%左右。

l内置丰富的控制功能，如直线圆弧插补、连续轨迹、同步跟随等，可在复杂工况下资源可以灵活配置，使取晶和固晶动作实现平稳快速精准的执行。

4.半导体转塔测试分选机运动控制解决方案

（1）客户诉求

l如何实现更高的测试和分选精度，提升产品质量，降低次品率。

l如何提高系统响应速度，来提升整体运行效率，满足大批量生产的要求，缩短生产周期。

l如何确保各运动轴的精准协调运动。

（2）正运动解决方案

采用正运动技术的高速高精，超高速PCIe EtherCAT实时运动控制卡XPCIE1032H，配合执行机构、高精度视觉采集硬件等核心组件的同步协作，能够实现高速高精的控制，并进行高效的数据交互，有效优化传统方案的工艺，提升测试分选效率和精度。

（3）工艺说明

芯片通过主转盘旋转，被吸嘴依次送入各测试模块，完成所有测试。通过采用正运动技术的同步控制、高速位置锁存、视觉飞拍等功能，确保转塔旋转到指定位置时，准确执行测试和分选。在一个旋转周期内，可连续完成测试、检查、收料、编带等多个工序，使测试分选过程高效稳定地运行，提高吞吐量。

（4）方案亮点

l高速稳定测试分选，产能可达：53Kpcs/小时，整体效率提升6%~20%以上。

l高速的运动模式切换：可快速切换位置模式和速度模式，实现高精度的力控。

lEtherCAT同步周期最小可达125us，可控制多个吸嘴独立上下高速运作，提升效率。

l与传统PC+运动控制卡方案相比，XPCIE1032H方案稳定性更高，交互速率更快，提升速度可达10%。

l可实现多工位同步视觉飞拍，可缩短机台运行CT，提升设备的整体产能。

l用户可以根据方案需要自主分配IO信号和灵活扩展控制轴，满足测试单元每种工艺需求，实现个性化定制。

5.半导体曝光机UVW运动控制解决方案

（1）客户诉求

l需要实现微米级的视觉对位精度，减少因对位不准导致的缺陷。

l需要提升系统响应速度，缩短生产周期，提高生产线的整体产能。

l需要多轴同步控制，提高运行稳定性。

（2）正运动解决方案

采用正运动技术的PCIE464M高速高精，超高速PCIe EtherCAT控制卡，配合UVW平台等多个组件的协同作业，进行高速高精的对准和曝光，减少因定位误差导致的废品率，优化生产流程，降低生产成本，提高产出质量。

（3）工艺说明

曝光工艺是将底片图形转移到PCB基板上，类似复印机原理。底片通过PCB钻孔定位，紧贴感光材料上。光源照射后，透光部分发生反应，未透光部分通过显影溶解，最终形成与底片上相同的图形。然后再结合正运动技术UVW平台运动控制、全系插补等算法和高精度CCD视觉对位系统，实现高速高精对位与曝光。

（4）方案亮点

l支持UVW控制算法，配合高精度视觉采集系统进行视觉对位纠偏。

l支持多轴同步控制，能够处理更复杂的曝光加工工艺，提高整体运行速度和稳定性。

l最快支持EtherCAT控制周期125us。

l采用标准PCIe总线接口，数据采集快，兼容性强。

l统一的API函数接口，适用各种PC上位机语言开发，易于客户集成到配备现有系统中，构建高速高精的UVW视觉对位系统。

看点二：新品 ZMC432CL-V2 脉冲全闭环的32轴总线型运动控制器

1.产品介绍

ZMC432CL-V2是一款高性能运动控制器，具备高速实时反馈功能，支持脉冲全闭环控制，能够实现高精度、高响应速度的运动控制。该产品为精密光电设备等提供了简单易用的开放式运动控制与激光振镜控制平台。

2.主要特点

（1）使用现成的API开发各种装备

（2）步进电机的外置光栅尺全闭环解决方案

lZMC4系列高效的网口读写，PCIe/PCI系列卡可共享内存接口（共享内存的批量读写3-5us）；

l内置反向间隙补偿，双向螺距补偿，2D平面补偿等； 

l可以同时支持脉冲轴，EtherCAT轴运动与振镜联动的接口；

l开放的PT/PVT接口客户可自定义加减速算法的二次编程；

lZMC432CL-V2可支持步进电机的外置光栅尺全闭环解决方案。

看点三：高性能运动控制产品分享

1.PCIE464M–高速高精，超高速PCIe EtherCAT控制卡

基于PCIe的EtherCAT总线运动控制卡，支持多轴同步控制，最快控制周期为100us。集成高速IO及多项实时运动控制功能,如高速色标锁存、PWM、多维PSO、视觉飞拍、速度前瞻等，可配合第三方图像处理工控机或PC，无需额外配置IO数据采集卡和PLC即可实现IPC形态的机器视觉运动控制一体机，简化硬件架构，节省成本，软硬件一体化。

2.XPCIE1032H–高速高精，超高速PCIe EtherCAT实时运动控制卡

搭载Windows运动控制实时内核MotionRT7，完美解决传统PCI/PCIe运动控制卡在Windows环境下控制系统的非实时性问题! 指令调用速度比传统的PCI/PCIE快10倍，支持多轴同步控制，最快控制周期为125us。集成高速IO及多项实时运动控制功能,如高速色标锁存、PWM、多维PSO、视觉飞拍、速度前瞻等。

3.VPLC7系列机器视觉运动控制一体机

基于x86架构的EtherCAT总线视觉运动控制器，支持脱机运行，内置丰富的视觉和运动控制功能，大幅简化配置流程，支持EtherCAT冗余功能。核内数据交互速度快，显著降低时间和成本投入，提高项目实施效率。安装与拆卸过程便捷，占地空间小，能与其他控制单元部件（如伺服驱动器、传感器等）和MES系统无缝集成。提供一体化开放式IPC形态的实时软控制器/软PLC集成的视觉+运动控制解决方案。

4.ZMC408SCAN-V22激光振镜运动控制器

基于ZMC408SCAN-V22开放式激光振镜控制解决方案主要应用于高速标刻、激光清洗、精密切割、精密焊接等非接触式激光加工过程中，通过高速振动的镜片来改变激光束的方向，实现高速高精的激光加工。广泛应用于高速高精的激光控制+振镜控制+运动控制的激光加工场合。

在即将到来的2024亚洲电子展上，我们诚挚邀请您莅临展位（11号馆11A24），一同体验高速高精运动控制解决方案及其带来的应用。

展会期间，我们将安排专家咨询服务，为您提供深入了解我们产品、技术和项目评估咨询。

期待在展会上与您不见不散！

正运动技术专注于运动控制技术研究和通用运动控制软硬件产品的研发，是国家级高新技术企业。正运动技术汇集了来自华为、中兴等公司的优秀人才，在坚持自主创新的同时，积极联合各大高校协同运动控制基础技术的研究，是国内工控领域发展最快的企业之一，也是国内少有、完整掌握运动控制核心技术和实时工控软件平台技术的企业。主要业务有：运动控制卡_运动控制器_EtherCAT运动控制卡_EtherCAT控制器_运动控制系统_视觉控制器__运动控制PLC_运动控制_机器人控制器_视觉定位_XPCIe/XPCI系列运动控制卡等等。